太阳能和半导体

PECVD减反射涂层

更新时间  2021-07-19 00:05 阅读

简介：
      制造薄膜太阳能电池板时需要在真空沉积过程中进行玻璃涂装。PECVD工艺中的氮化硅被用来涂装硅太阳能电池以形成减反射层。
 

 

应用点 ：
 

       要获取高产能，就必须测量过程中的温度均匀性。问题是如何测量基体 (substrate) 温度，因为基体是在真空室内涂装并关闭的。

 

对客户的好处： 
 

     ●  测量过程室各处的产品温度均匀性

     ●  通过降低能源成本和/或增加产量来优化过程

     ●  快速方便地排除过程故障

     ●  追踪过程稳定性

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